Минпромторг РФ направит около 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин, согласно данным тендера, размещённого на портале госзакупок. Новая автоматизированная линия позволит выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром до 100, 150 и 200 мм в составе серийных техпроцессов. Отечественная установка заменит американские и японские аналоги, использующиеся на российском производстве.
ИСТОЧНИК ФОТО: Википедия.
В описании закупки сказано, что оборудование будет работать с пластинами диаметром до 200 мм, за один цикл обрабатывая до 100 штук одновременно. В установке будет использовано минимум восемь различных химических реагентов, включая плавиковую, серную и соляную кислоты, аммиак и перекись водорода. При этом машина не должна смешивать несовместимые вещества. В России предписано выпускать ключевые узлы — ротор, систему подачи химии, контроллер и программное обеспечение. Импортные комплектующие допускаются при согласовании с заказчиком.
Готовую установку в Минпромторге рассчитывают получить до ноября 2029 года, имя исполнителя пока не раскрывают.
По словам эксперта НТИ по микроэлектронике Сергея Сазонова, на стадии химической обработки закладывается качество будущей микросхемы, так как от чистоты и равномерности этих операций зависит стабильность всего техпроцесса.
Этот тендер стал частью кампании по импортозамещению в отрасли. С начала лета 2026 года Минпромторг уже разместил несколько закупок на опытно-конструкторские работы по микроэлектронике общим объемом около 7,6 млрд рублей. Согласно данным министерства, объем производства оборудования для электронной промышленности в 2025 году достиг 5,32 млрд рублей против 2,93 млрд в 2023-м. В 2026 году ожидается рост почти на 5%, до 5,58 млрд рублей.
